2003年5月，中国科学院合肥物质科学研究院由科学岛上原有的4家研究所(安徽光机所、等离子体所、固体物理所、合肥智能机械所)与原合肥分院合并组成，陆续发展成为拥有10家研究所的一流研究机构。

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